优化的流体动力学,实现一致的工艺性能广泛的基板材料和尺寸薄膜运输系统薄片边缘位置和张力控制可扩展的产能受控和惰性大气稳定的剂量,对设施的波动现象不敏感工艺设计和优化安全的化学处理和可维护性可选的散装化学品供应系统用于通过固体盐进行蚀槽补液的可选外部机柜