单晶圆处理提升工艺控制，使公司更快察觉与应对市场机遇。可以经济高效地覆盖低与中等容量。节省空间的设备适用于研发或者小规模生产。要是看重投放市场的时机，工具所有者可享有相较于批处理的快速变换可能、低成本与短设置时间