链式结隔离和背面抛光 InOxSide Fusion 技术组合结隔离和背面抛光,为出色的表面钝化创造理想的前提条件。全新碱性抛光接合工艺尽可能减少单一机器的酸用量,实现极低的拥有成本并提升效率。这款节省空间的解决方案是新一代获得专利的可靠的 RENA 单面刻蚀技术。RENA 为市面上单面碱性刻蚀提供唯一的单机床解决方案。