Advancer Classic 湿法台 单步、半自动湿法处理系统 Advancer Classic 湿法处理系统是一种坚固耐用、经过现场验证的单步解决方案,适用于当今常见的应用。Advancer 平台本身具有高度可配置性,并且极其易于维护。 与所有 RENA 系统一样,它由 IDX Flexware 控制和监控。IDX 提供了仅在 RENA 湿法处理系统中才能找到的高级功能和性能。
特点与优势 干进干出能力单步工艺与冲洗设计单/双卡匣兼容50 mm 至 200 mm 晶圆尺寸6″ 与 8″ 处理无需更改IDX Flexware 工艺控制软件直观的 HMI 触控屏高可维护性侧置机器人符合 SECS/GEM 标准工厂主机支持UL 508A 电气认证改进的工艺控制降低 DI 水消耗降低化学品消耗延长槽体寿命低拥有成本多种型号可选占地面积更小维护友好安装简便