Advancer Classic 湿法台

单步、半自动湿法处理系统

Advancer Classic 湿法处理系统是一种坚固耐用、经过现场验证的单步解决方案,适用于当今常见的应用。Advancer 平台本身具有高度可配置性,并且极其易于维护。

与所有 RENA 系统一样,它由 IDX Flexware 控制和监控。IDX 提供了仅在 RENA 湿法处理系统中才能找到的高级功能和性能。

特点与优势

  • 干进干出能力
  • 单步工艺与冲洗设计
  • 单/双卡匣兼容
  • 50 mm 至 200 mm 晶圆尺寸
  • 6″ 与 8″ 处理无需更改
  • IDX Flexware 工艺控制软件
  • 直观的 HMI 触控屏
  • 高可维护性侧置机器人
  • 符合 SECS/GEM 标准
  • 工厂主机支持
  • UL 508A 电气认证
  • 改进的工艺控制
  • 降低 DI 水消耗
  • 降低化学品消耗
  • 延长槽体寿命
  • 低拥有成本
  • 多种型号可选
  • 占地面积更小
  • 维护友好
  • 安装简便
Theo-Moissidis-Head-of-Sales
全销售副总裁
Theo Moissidis
负责负责对于以下国家:
全球