蒸汽干燥机 RENA 蒸汽干燥机集成 IPA 干燥工艺、清洁与冲洗，实现一站式工艺。它代替高深宽比特征与 TSV 中的水，有效干燥及复杂的表面，而且可集成至 RENA 溶剂浸洗平台。整个工艺由 RENA 专属 IDX 工艺控制软件监控与控制。
特点与优势 FEOL 与 BEOL 晶圆干燥 干燥疏水与亲水表面，无静摩擦损伤 离子污染级别 < 1E10 0.12μm 级的颗粒量 < 20 相比沸腾池蒸汽干燥机，IPA 消耗量减少 85% 与 Marangoni 干燥机相比，成本降低 完全干燥的“高深宽比”结构且 TSV > 750um 深 IPA 蒸汽冷凝器，用于 IPA 回收 借助 IDX Flexware 实现高级性能与工艺控制 CE 认证
