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RENA BatchTex® N 制造设备是无、高产能、最优质碱性单晶硅（mono-Si）制绒工艺的首选解决方案。RENA monoTEX® 工艺技术确保高级制绒效果，RENA BatchTex® 是业界最常使用的解决方案。该设备基于 RENA Batch N 平台。
特点和优势
- 在批次式工艺中实现单晶硅的全自动损伤层去除和碱性制绒
- RENA monoTEX® 制绒工艺实现最高品质与生产率
- 视配置而定，产能高达 15000 片/小时
- 集成清洁、冲洗与干燥晶圆
- 借助 Bleed + Feed（分供）功能延长蚀槽寿命
- 箱内箱式设计改善工艺均匀度并降低空间需求
- 同类最佳计量系统，确保精确、稳定的槽液组成
- 使用无压条载片装置
- 破损率业界最低
- 易于维护
- 可提供 BatchTex N600（每个蚀槽 600 片）、 N400（每个蚀槽 400 片）、或 N50（每个蚀槽 50 片）
选项
- 可适用于薄至 100 µm 的硅片
- 提供适合硅异质结 (SHJ) 的版本
- 计量秤：自动刻蚀量测量
- MES 接口 (SECS/GEM)
- 用于缓冲载片装置的装卸扩展
- 用于化学品供应的介质柜
- 针对化学品排出/废水的废物泵出站
- 过滤器风扇单元（“通风箱”）
- 工艺控制传感器（例如 pH 值、电导率）
