Vanguard 是一款全自动单片晶圆处理系统，适用于对 300mm 晶圆进行湿法化学清洗、冲洗、蚀刻和干燥。其模块化、可扩展的设计确保在产能、占地面积和应用需求方面具有最佳适应性。该系统配备先进的化学清洗技术，能够实现卓越的缺陷去除效果、更高的工艺灵活性以及更低的化学品消耗——同时具备出色的可维护性。