monoTEX® 单晶硅片无 IPA 碱性制绒 monoTEX® 是同类最佳的碱性制绒调整和润湿制剂。不同于普通 IPA 制绒剂,RENA monoTEX® 不可燃,工作温度远低于其组分的沸点。温度和碱性浓度变化几乎呈线性关系,因此调整工艺参数即可改变金字塔绒面的尺寸。
无 IPA已通过加工 10 亿多块硅片的生产得以验证 (> 20 GW)工艺温度低于沸点无 VOC,无需处理有爆炸风险的液体大工艺窗口处理时间短,标准碱性制绒时间低于 7 分钟均匀的金字塔绒面 (2 – 5 μm)。尺寸可能因配方而变化在 400– 1100 nm 波长内平均反射率 < 12.5%参数变化呈线性使用添加剂节省成本采用 RENA 预清洗,蚀槽寿命 > 250 次运行环保,废液中有机负荷低,可生物降解