Vanguard ist ein vollautomatisiertes Einzelwafer-System für die nasschemische Reinigung, Spülung, Ätzung und Trocknung von 300 mm Wafern. Sein modulares, skalierbares Design gewährleistet eine optimale Anpassungsfähigkeit in Bezug auf Durchsatz, Platzbedarf und Anwendungsanforderungen. Mit fortschrittlichen chemischen Reinigungstechnologien bietet es eine hervorragende Defektreduktion, erhöhte Prozessflexibilität und einen geringeren Chemikalienverbrauch – und das bei außergewöhnlicher Wartungsfreundlichkeit.