Genesis Dryer

Genesis 独立式 Marangoni 干燥机

RENA Genesis Marangoni 干燥机集成干燥、清洁与冲洗，实现一站式工艺。借助 RENA Genesis Marangoni 干燥机干燥晶圆，应用晶圆提拉器与集成倾斜功能的专属设计，确保晶圆面在干燥循环中不会接触特氟龙片盒。倾斜功能同样尽量减少晶圆背面的基础。Genesis Marangoni 干燥机兼容纯硅、SiO₂、GaAs、Ge、蓝宝石以及玻璃晶圆。整个工艺由 RENA 专属 IDX 工艺控制软件监控与控制。

改善产量并减少颗粒，RENA Marangoni 干燥机性能出众

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特点与优势

手动装载片盒或可选机器人自动化晶圆处理
特氟龙片盒
干燥后基片无水痕
在干燥之前实现化学清洁，无空气接触
干燥工艺期间，不会损坏敏感的光刻胶层
120 nm 级的颗粒量 < 50
干燥疏水与亲水表面
未旋转水流
组合 O3、HF 或 HCl 喷射用于严格洁净应用，实现高品质表面
HF 最末应用
典型循环时间 7 至 20 分钟
借助 IDX Flexware 实现高级性能与工艺控制
主机兼容
集成去离子水过滤选项
可选化学喷射
IPA 用量少（每次干燥循环 ≤ 20ml）
可选 IPA 再循环，实现更可靠的颗粒效果
面向 50-200 mm（2 至 8 英寸晶圆）尺寸的晶圆解决方案
CE 认证

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