Der RENA Genesis Marangoni Trockner kombiniert den Trocknungsprozess mit der Reinigung und Spülung in einem Schritt. Genesis ist eine patentierte Technologie, die eine hervorragende Sauberkeit der Wafer und Wasserentfernung gewährleistet. Diese Trockner können sowohl als eigenständige Plattformen als auch integriert in Batch-Tauch-Nassbänke eingesetzt werden. Der gesamte Prozess wird von RENAs exklusiver Prozesssteuerungssoftware IDX Flexware überwacht und gesteuert. Der Marangoni-Trockner von RENA bietet eine überlegene Leistung, verbesserte Ausbeute und reduzierte Partikelpräsenz.