特点与优势 减少集成干燥的成本 为采用单晶圆 IPA 干燥的用户保留 POR 晶圆提拉器确保缩小接触面积 集成热交换器产生的热氮气,降低能源成本 连续式 IPA 再循环 相比其他典型的蒸汽或真空干燥机,减少 IPA 用量 降低排放要求 每个晶圆的 IPA 使用与其他 Marangoni 干燥机类似 借助 IDX Flexware 的高级软件控制能力 150 nm 级的颗粒量 < 20