ISODry – nur IPA
RENA ISODry lässt sich in die Lösungsmittel-Immersionsplattformen von RENA integrieren. Der gesamte Prozess wird mittels der exklusiven IDX Process Control Software von RENA überwacht und gesteuert.
Funktionen und Vorteile
- Senkt die Kosten für integrierte Trocknung
- Sorgt für POR für Anwender mit Single-Wafer-IPA-Trocknung
- Waferhebel sorgen für minimale Kontaktflächen
- Integriertes heißes N2 erzeugt durch Wärmetauscher sorgt für geringere Energiekosten
- Anhaltende IPA-Rezirkulation
- Niedrigerer IPA-Verbrauch im Vergleich zu anderen typischen Dampf- oder Vakuumtrocknern
- Niedrigere Anforderungen an die Abluft
- Der IPA-Verbrauch je Wafer ist ähnlich zu anderen Marangoni-Trocknern
- Fortschrittliche Software-Steuerungsmöglichkeiten mit IDX Flexware
- Partikelleistung < 20 bei 150 nm
