Wafer aus Glas sind die Grundlage der modernen Mikrosystemtechnik. Glas bietet zahlreiche Vorteile wie hohe chemische und thermische Beständigkeit, eine gute elektrische Isolierfähigkeit, Biokompatibilität, einen breiten optischen Übergangsbereich sowie eine geringe optische Absorption. Aufgrund dieser Eigenschaften finden Glaswafer in konventionellen Mikrofabrikationsprozessen breite Anwendung.
Mithilfe von Mikrofabrikationsprozessen lassen sich in einem Glaswafer verschiedenste Strukturen erzeugen. Von wesentlicher Bedeutung für die Erzielung einer guten Qualität beim Strukturierungsprozess ist der anfängliche Reinigungsprozess. RENA hat verschiedene Batch-Reinigungsverfahren im Angebot, die auf die Anforderungen der Kunden, den Grad und die Art der Verschmutzung, den Glastyp und die entsprechende spätere Verwendung abgestimmt sind.
In eine Prozesssequenz zur Strukturierung einer Chromschicht können Prozessschritte wie Chromätzen integriert werden. RENA bietet auch Anlagen für das Ätzen von Metallen, die häufig in einem Fabrikationsprozess genutzt werden, wie beispielsweise Gold und Nickel. Je nach Kunde können Anlagen von RENA auch Bäder für das Glasätzen und das Strippen von Fotolack umfassen.
Die Anzahl an Prozessen lässt sich frei an den erforderlichen Durchsatz und die spezifischen Kundenanforderungen anpassen.
Optik
Mithilfe von Mikrofabrikationsprozessen können tausende mikrooptische Bauteile gleichzeitig auf einem Glaswafer gefertigt werden. Optische Bauteile wie Linsen, Spiegel, Strahlteiler und optische Gitter finden hauptsächlich in der Photonik, der Halbleiterbranche und im Medizinbereich Anwendung. Refraktive und diffraktive mikrooptische Bauteile werden genutzt, um Strahlen präzise zu formen. Darüber hinaus spielen Mikrooptiken auch eine wichtige Rolle in Medizingeräten wie Endoskopen, in laserbasierten Geräten und in Glasfasernetzen.
Mikrofluidik
Viele mikrofluidische Bauteile werden mithilfe von Mikrofabrikationsprozessen aus Glas gefertigt. Mikrofluidische Bauteile sind mittlerweile unverzichtbare Elemente biomedizinischer Diagnostikinstrumente. Da Glas in einem breiten Wellenlängenspektrum transparent ist, eignet es sich ideal für mikrobioanalytische Geräte wie Mikrokapillarelektrophorese-Geräte, für Zellfallen oder für Geräte zur Zellsortierung. Mikrofluidik-Chips mit ausgeklügelten Kanalstrukturen finden in Geräten für Point-of-Need-Tests (PONT) oder in Durchflusszellen für die Analyse von DNA-Einzelmolekülen beim Next Generation Sequencing Anwendung.
Sensoren
Die Technologie zur Mikrofabrikation von Glas gewinnt zunehmend an Bedeutung, da immer mehr Glassubstrate bei der Fertigung von MEMS genutzt werden. Sie wird heutzutage bereits in ausgereiften Lösungen wie Druck- und Beschleunigungssensoren eingesetzt. Der Drucksensorchip wird in strukturierten Wafern gekapselt, die Hohlräume aufweisen, welche sich durch Ätzen erzeugen lassen. Die Kapselung erfolgt mithilfe eines Wafer-Level-Packaging-Ansatzes.
High-Tech Reinigungslösungen
Mit mehr als 20 Jahren Erfahrung im Bereich der Reinraumanwendungen für verschiedene Substrate bietet RENA fortschrittliche Reinigungslösungen für unterschiedlichste Branchen und anspruchsvolle Bedingungen.
Unsere Batch-Anlagen zeichnen sich durch höchste Leistungsfähigkeit in den Branchen Glas, Medizintechnik, Pharma, Halbleiter und Advanced Optics aus. Sie erfüllen die Anforderungen für ATEX, GMP und Reinräume und sind sowohl auf wasserbasierte Prozesse ausgelegt als auch auf Prozesse, die auf organischen Lösungsmitteln beruhen.
