In Halbleiterfabriken sind Chemikalien bei Bedarf verfügbar, indem sie als Bulkware geliefert werden. Dies senkt nicht nur die Produktionskosten, sondern verbessert auch die Prozesseffizienz und die Ausbeute, da das manuelle Einfüllen von Chemikalien entfällt. Zu diesem Zweck bietet der Halbleitersektor in RENA eine Vielzahl von Chemikalienversorgungsplattformen an, die eine langfristige Zuverlässigkeit bei minimalem Wartungsaufwand bieten. Alle unsere Geräte haben ein ergonomisches Design und sind gleichzeitig platzsparend in engen Arbeitsbereichen. BCS ist eine Plattform für die Lieferung von Chemikalien in großen Mengen und MultiChem eignet sich für die Versorgung von Anwendungen mit geringem Chemikalienbedarf. Wir bieten auch FlexChem an, eine Pumpeinheit, die es den Kunden ermöglicht, Chemikalien von Zwischenbehältern zu den Prozesstanks zu transportieren. Alle RENA’s Chemikalienhandlingsysteme eignen sich für eine Vielzahl von Prozessen mit verschiedenen Arten von Chemikalien wie Säuren, Basen und Lösungsmitteln. Sie sind auch in der Lage, verbrauchte Chemikalien aus dem Prozessbereich wieder aufzunehmen. Unsere Plattformen entsprechen den Sicherheits- und Gesundheitsprotokollen der Norm SEMI S2 und können nahtlos in Nassprozesseinheiten integriert werden. RENA's Chemikalienabgabesysteme tragen zu den hervorragenden Prozessergebnissen bei, da die Chemikalien vor der Verteilung gefiltert werden. Dadurch erhalten die Kunden hochreine Chemikalien zum Ätzen und Reinigen, d.h. sie können den Verunreinigungsgrad konsequent kontrollieren und überwachen. Durch den Einsatz unserer Chemikalienhandhabungssysteme wird die Verschüttung von Chemikalien verringert, die Betriebssicherheit erhöht und die Effizienz verbessert. RENA's chemische Lieferplattformen bieten nicht nur für die Halbleiterherstellung eine gute Lösung, sondern auch für verschiedene Industriezweige wie die Lebensmittel-, Chemie- und Pharmaindustrie.