FluidJet - fortschrittlicher Tauchtank für die Resist- und Metall-Abhebung
In der Mikrostrukturierungstechnologie wird das Metall-Lift-off-Verfahren zur Strukturierung von Halbleitersubstraten für die Herstellung von integrierten Schaltkreisen (ICs) und anderen mikroelektronischen Bauteilen verwendet. Zu diesem Zweck bietet RENA die einzigartige FluidjetTM-Tauchtanktechnologie an, die eine zuverlässige, verbesserte Abhebeleistung zusammen mit einem erhöhten Durchsatz bietet. Diese herausragende Abtragsleistung wird durch den Einsatz präziser hydraulischer Kräfte in Kombination mit Roboterbewegung erreicht. Die FluidjetTM-Tanktechnologie kann in unsere voll- und halbautomatischen Nassbänke integriert werden. RENA's Metallabhebetankdesign wurde in den USA, Europa und Asien patentiert und geschützt.