Was ist SECS/GEM?
SECS (SEMI Equipment Communication Standards) und GEM (Generic Equipment Model) ist das Schnittstellenprotokoll der Halbleiterindustrie für die Datenkommunikation zwischen Anlagen und Hosts. Mittlerweile wird es nicht nur in der Herstellung von Halbleitern verwendet, sondern auch in der Photovoltaik-, LED-, Flatpanel- und Elektronikproduktion eingesetzt.
Was ermöglicht das SECS/GEM?
In einer automatisierten Produktionsfirma kann die Schnittstelle die Verarbeitung von Geräten starten und stoppen, Messdaten erfassen, Variablen ändern und Rezepte für Produkte auswählen. Die Standards SECS/GEM ermöglichen all dies auf definierte Weise.
Sind die RENA Nassanlagen mit dieser Schnittstelle ausgestattet?
RENA Technologies liefert hochmoderne Lösungen für die Nassbearbeitung von Halbleitern, Glas sowie Solarzellen, die Wafer ätzen, Wafer reinigen und Wafer strippen. Alle RENA Technologies Nassbänke können mit der SECS/GEM-Schnittstelle ausgestattet werden.
