经过验证的生产设备
在太阳能硅片生产领域,RENA PreWaClean 湿化学系统是对切割砖进行预清洁和硅片脱胶的理想工具。该系统产量高、占地面积小,是令人信服的完美解决方案。
PreWaClean 是第一步。硅片和锯切横梁一起被湿运到装料口。经过优化的喷嘴设计可清除锯切过程中产生的任何潜在颗粒。精确的化学计量保证了晶片的完美清洁。晶片与锯切横梁分离后,任何胶粘剂残留物都将被清理并输送到脱胶工序中,该工序在下一工序槽中进行。改进后的孔管设计可直接流向胶水,从而实现出色的吞吐量。该系统基于湿进湿出系统。
以下晶圆单一化工具和 BatchWaClean(批量清洗)与最终清洗步骤的直接连接实现了完美的相互作用。
BatchWaClean 由碱性清洗步骤、最终臭氧有机清洗和干燥组成。这保证了 RENA 湿化学系统之间的完美互动,并确保以最佳的拥有成本实现独特的工艺效果。