23. 04. 2025
European CMP & WET Users Group – Spring Meeting: Erfolgreicher Auftakt in Leuven
CMP (chemisch-mechanisches Polieren) und WET (Nasspolieren) sind zentrale Verfahren in der Herstellung von Halbleiterbauelementen und MEMS. Trotz ihrer scheinbaren Einfachheit erfordern sie tiefes technisches Verständnis und eine experimentelle Herangehensweise.
Die European CMP and WET Users Group bietet eine offene Plattform für Fachleute aus Industrie und Wissenschaft, um Wissen zu teilen, sich auszutauschen und zu vernetzen – ein technisches Zuhause für alle, die mit diesen Schlüsseltechnologien arbeiten.
Die Teilnehmer hatten beim European CMP & WET Users Group Meeting in Leuven die Gelegenheit inspirierende Präsentationen zu verfolgen und wertvolle Kontakte zu führenden Experten der Branche zu knüpfen. Ebenso innovative und automatisierte Lösungen für die Nassbearbeitung in der Halbleiterfertigung kennenzulernen sowie auch zentrale Akteure der Industrie persönlich zu treffen und sich intensiv auszutauschen.
Mit großer Freude präsentierten wir unsere neueste Innovation: die kompakte Nassprozessanlage RENA Revolution+
Das kompakte, automatisierte Nassprozesssystem für mehrstufige Prozesse namens Revolution+ wurde speziell für anspruchsvolle, mehrstufige Halbleiterprozesse entwickelt. Sie kombiniert Flexibilität und Automatisierung in einem platzsparenden Konzept: Ein zentraler Rotationsroboter steuert den Wafer-Transfer präzise zwischen bis zu drei Prozess- und drei Spültanks. Dank der integriertenTrocknungseinheit bietet die Anlage eine durchgängige Prozesskette – für maximale Produktivität und höchste Prozesssicherheit auf kleinstem Raum. Patentierte Tanks ermöglichen zudem anspruchsvolle Anwendungen wie Metallätzen und Metal-Lift-Off. Optional ist die Revolution+ mit dem Genesis Marangoni Trockner erhältlich, der ein defektfreies Trocknen der Wafer ermöglicht.
Das European CMP & WET Users Group – Spring Meeting war nicht nur ein Branchentreffen – es war ein Blick in die Zukunft der Halbleiterfertigung.
Wir bedanken uns für den tollen Austausch und freuen uns auf weitere Treffen.
