Kassetten Systeme
Das Handhaben von Wafer und Zellen in trockener Umgebung verlangen bei ähnlichem Preis-Leistungsverhältnis ein anderes Design. Material geringerer chemischer Beständigkeit und eine einfachere, geschlossenere Bauweise finden bei den Automatisierungscassetten RCC Anwendung, in denen Wafer und Zellen besser geschützt sind.