single wafer process chamber

Evolution - vollautomatische Nassbearbeitung von Halbleiterwafern

Für die Nassbearbeitung von Halbleiterwafern mit hohem Durchsatz bietet RENA die "Evolution" an, eine vollautomatische lineare Nassbank. Mehrere Oberflächenbehandlungsprozesse wie Reinigen, Ätzen, Resiststriping und Trocknen können mit der "Evolution" durchgeführt werden. Diese Chemiestation ist flexibel und modular aufgebaut, verfügt über einen robusten Transferroboter und kann entsprechend Ihrer spezifischen Prozessabläufe angepasst werden. Die "Evolution" ermöglicht die Stapelverarbeitung von gleichzeitigen Waferchargen sowie die Trocken-zu-Trocken-Verarbeitung.

Hohe Produktionsausbeute, niedrige Betriebskosten und hervorragende Prozesskontrolle sind die Hauptmerkmale dieser Plattform. Diese überragende Prozesssteuerung wird durch die IDX Flexware-Software erreicht, eine der fortschrittlichsten in der Halbleiterindustrie mit einzigartigen Funktionen und Möglichkeiten. Spezialisierte Prozesstanks wie TruEtch, FluidJet und SiEtch sowie Ultraschall- und Megasonic-Tanks und der patentierte Genesis Marangoni-Trockner können in die "Evolution" integriert werden, um die Prozessspezifikationen des Kunden zu erfüllen.

Alle RENA-Systeme sind konform mit der SECS/GEM-Schnittstelle des Werksbetreibers.

Funktionen und Vorteile

  • Voll automatisch, Trocken-zu-Trocken-Betrieb
  • Wafergrößen von 100 bis 200 mm
  • 25, 50 und 100 Waferlose
  • IDX Flexware Control Software
    • Gleichzeitige Lose und Rezepturen
    • Fortschrittliches Prozessmonitoring
  • Intuitiver HMI-Touchscreen
  • SECS-/GEM-Schnittstellenoptionen
  • Integrierte Klasse 1 Reinraum
  • Edelstahlversion für Lösungsmittelanwendungen
  • Flexibel und upgradefähig
  • An Kundenspezifikation angepasst
  • Erhöhte Betriebszeit und erhöhter Durchsatz
  • Verlängerte Chemikalien- und Tanklebensdauer
  • Reduzierter Einsatz von Chemikalien und DI-Wasser
  • Niedrigere Anlagenkosten
RENA Evolution - high throughput fully automated linear wet bench
Theo-Moissidis-Head-of-Sales
VP Sales
Theo Moissidis
ZuständigZuständig für folgende Länder:
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