FlexChem - Pumpeneinheit für die Chemikalienversorgung
FlexChem von RENA ist ein kompaktes Pumpensystem, das den manuellen Transport und das Ausgießen von Chemikalien aus den Behältern in die Prozesswerkzeuge überflüssig macht. FlexChem ist ein flexibles chemisches Fördersystem, das sich für Säuren, Basen und Lösungsmittelanwendungen eignet. Es kann je nach Kundenanforderung für zukünftige Erweiterungen leicht skaliert werden. Diese Plattform entspricht den Sicherheits- und Gesundheitsprotokollen der SEMI S2-Normen.