EPM2 - Fortgeschrittene manuelle elektrochemische Abscheidung
Beim Abscheiden von Reinmetallen oder Legierungen in den Bereichen Mikroelektronik und optoelektronische & photonische Chips mit ihrer breiten Spanne an Metallisierungsanwendungen ist höchste Flexibilität gefordert. Das EMP 2 ist ein kompaktes Galvanisierungsgerät für Anwendungen rund um die Fertigung und Verkapselung von Halbleiterbauelementen wie etwa UBM, Bumping, Cu-Pillars, TSVs, Sacklöcher, RDL, Mikroformung und weitere. Ein optimierter Elektrolytfluss und die Steuerung des elektrischen Feldes im Fountain-System sorgen für eine homogene Abscheidung auch bei höchster Metallisierungsgeschwindigkeit. Das Metallisierungswerkzeug wird manuell bedient und lässt sich in F&E-Umgebungen sowie zur Produktion niedriger Stückzahlen einsetzen.