经证实，新型 Hi-ETA clean® 添加剂可在不增加工具占地面积的情况下提高 0.05% 的效率。 该添加剂专为清洁单晶 p 型和 n 型硅片而设计，与新的或现有的内联 PSG/BSG 蚀刻 (InEchSide)、BatchTex N400 或 N600 工具结合使用，可提高您的产量。