Erfolgreiche Teilnahme von RENA Technologies an der ICSCRM 2024 in Raleigh, USA

Die Konferenz bietet eine wertvolle Plattform für den Austausch über die neuesten wissenschaftlichen und technischen Entwicklungen im Bereich Siliziumkarbid (SiC). Forscher und Ingenieure aus Industrie, Hochschulen und dem öffentlichen Sektor kamen zusammen, um ihre Erkenntnisse zu teilen und innovative Lösungen zu diskutieren. Neben den spannenden wissenschaftlichen Sitzungen war auch die begleitende Ausstellung ein Highlight, die während der gesamten Konferenz geöffnet war und den Teilnehmern die Möglichkeit bot, sich über die neuesten Produkte und Technologien im Bereich Siliziumkarbid zu informieren.

Am RENA Technologies Stand wurde unter anderem die neue und einzigartige nasschemische Anlage am Markt names „Revolution+“ vorgestellt. Unser spezielles Reinigungsverfahren für SiC-Substrate erzielt unübertroffene Reinheitsergebnisse. Die kompakte „Revolution+“, eine flexible, halbautomatische Nassbank mit einem zentralen Drehroboter und bis zu drei Prozess- und drei Spültanks, wird für mehrstufige Halbleiterprozesse angeboten. Diese Plattform wurde für eine effektive Oberflächenbehandlung entwickelt, die Ätzen, Reinigen und Resiststrippen umfasst. Sie ist für FEoL- und BEoL-Anwendungen gleichermaßen geeignet. Die „Revolution+“verfügt über eine verbesserte Prozesssteuerung und -überwachung mit der IDX Flexware-Software. Je nach Bedarf des Kunden können spezielle Ausführungen wie zum Beispiel patentierte Metallätz- und Abhebetanks eingebaut werden. Die kleine Stellfläche sowie der geringe Wasser- UND Chemikalienverbrauch machen die Produktionsanlage Revolution+ zum absoluten Vorteil. Bei den Messebesuchern stieß die Maschine auf großes Interesse.

RENA Technologies ist stolz darauf, Teil dieser bedeutenden Messe- und Konferenztage zu sein und unsere neuen Innovationen präsentieren zu können. Ebenso über die vielen tollen Fachgespräche, die wir mit Partnern und Interessenten führen konnten.

Wir freuen uns darauf, die gewonnenen Erkenntnisse und Kontakte in zukünftige Projekte und Entwicklungen einfließen zu lassen. Ein herzlicher Dank geht an die Organisatoren und alle Teilnehmer, die diese Konferenz zu einem inspirierenden Erlebnis gemacht haben!