Neuer Expert Blog Beitrag: Metal Liftoff in advanced immersion tank with multidirection jet fluid and multi-frequency ultrasonic energy

In dieser Studie wurde ein neuer Eintauchprozess entwickelt und evaluiert, um typische Probleme bei bestehenden Tauchanlagen durch eine sorgfältig konzipierte Kombination von Hardware und Verfahrensschritten zu verbessern.

Das FluidJet™-Batch-Nassprozesssystem von RENA für Metal Liftoff (MLO) erzielte einen Durchbruch, da weder auf der Vorder- noch auf der Rückseite des Wafers eine erneute Metallabscheidung stattfand und die Beschädigung des Musters bei vergleichbaren elektrischen Ergebnissen reduziert wurde, während gleichzeitig 80 % weniger Chemikalien als bei bestehenden Lösungen für die Bearbeitung einzelner Wafer benötigt wurden.

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